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8",12"晶圆拣片分类机及EFEM

·高速机器手加双抓手、双对位器及双OCR,拣片传送效率极大化,并能够双面读取晶圆ID。

·具特殊SoftTouch软接触的夹爪及对位器,可提供高度安全、无污染、高达50μm/0.03°的重现度。

·具HEPA - High Efficiency Particulate Air Fan Filter Untis (FFU) 高效颗粒污染控制。

·可用FOUP、FOSB、SMIF及cassette。

·简易人机介面,可灵活设置运送规则。