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FOUP自动开关门机构,可配合各式晶圆承载具。

· 兼容8"及12"晶圆
· 兼容FOUP、FOSB及cassette
· RS485/ Ethernet通讯方式
· 符合E84标准
· 检测运送盒空叠片
· 可加增RFID读取器和mapping sensor