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无接触涡流型抓手

涡流型末端执行器采用非接触式原理:压缩空气到达涡流区相切的圆周,并在涡流杯子中心创建压力非常低的区域。

低压区类似真空吸盘,提供晶圆吸力;同时在晶片和低压边缘形成了便于空气流通的间隙。空气流通间隙避免了晶圆面与夹持装置的接触,吸力固定晶圆。