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晶圆目测系统及显微镜装载机

本公司的晶圆目测系统及显微镜装载机,采用独 家专利的核心部件,提供兼具高性能、低维修成 本及灵活的配件组合,是您最佳的显微镜装载方 案,为实验室的显微研究领域提供了一个重大的 进步。

晶圆扫描装置扫描晶圆的位置信息,并将其存储 到设备PC上,防止交错片和重片。机械手将完成 定位的晶圆放置到显微镜工作台上,然后即可进 行晶圆检测。