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洁净室机器人

QM-1000 平面关节机械手(Selectively Compliant Articulated Robot Arm, SCARA) 系列产品已问世近廿年,除了通过CE、ISO 洁净度 Class 1认证外,其性能及稳定性亦经过多家世界级半导体厂验证。

QM-1000 可旋转+/- 320度,无死角设计有效利用空间,最大伸展距离达505mm BOLT标准 ,可达3个FOUP,最佳弹道路径 (Motion Trajectory Optimization) 设计 大幅提高运送速度,双轴机械手之最大产迖每小时480片。

带电源的绝对值编码器, 掉电不失位置;具专利之优良内部结构,平均故障间隔时间43,000小时, 无消耗品 亦毋需年修 (Preventative Maintenance),具最佳之拥有成本 (Cost of Ownership)。