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高精度晶圆定心装置

晶圆存在尺寸偏差,传统的气动式边缘夹持定心装置易产生因抓力过大造成晶 圆损坏,或抓力太小造成掉片的现象。

本公司晶圆边缘夹持定心装置采用具有自主知识产权的软接触机械装置 (SoftTouch Mechanism) 可实现夹持力精确控制,保证晶圆在夹持过程中处 于无应力状态, 针对不同尺寸和厚度的晶圆,晶圆边缘夹持定心装置可实现可控 、恒定的夹持力,具备高精度、低颗粒污染的特点。