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智慧型抓手

由于晶圆存在尺寸偏差,传统的气动式边缘夹持执行装置易产生因抓力 过大造成晶圆损坏,或抓力太小造成掉片的现象。

IEG200/300末端执行器采用软接触机械装置 (SoftTouch Mechanism), 在晶圆抓取的过程,末端执行器和晶圆之间的接触为轻柔接触;夹持力可控、恒定。 保证了晶圆抓取的稳定和安全,亦避免污染颗粒的产生