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传感器系列

本公司对射型-晶圆扫描 (Thrughbeam mapping sensor) 提供低成本可靠的晶圆扫描,可检测晶圆在插槽中的位置错误。

适用于不同尺寸、材料和涂层的晶圆。可用于检测低反射率、透明和薄、弯曲的晶圆,满足 小间距的使用要求。亦可用于因为晶圆由于搬运造成初始位置改变时(小于3mm)的场所。 位置传感器 (Presence sensor) 提供监控晶片的存在,以加強晶圆传送安全。

我们的传感器可以单独出售,也可以集成到边缘夹持器或真空夹持器(Endeffctor)中出售, 满足小空间的使用要求(Small footprint)。